Entwicklung von Algorithmen zur Analyse interferometrischer Aufnahmen

Entwicklung von Algorithmen zur Analyse interferometrischer Aufnahmen für die schnelle, hochpräzise 3D-Messtechnik: Die vorliegende Diplomarbeit beschäftigt sich mit der interferometrischen Vermessung von optisch glatten Oberflächen. Im Gegensatz zu phasenschiebenden Methoden oder der Weißlichtinterferometrie, die zur Vermessung mehrere phasenverschobene Aufnahmen des Messobjektes benötigen, konzentriert sich die Arbeit auf die Auswertung eines einzelnen Interferogramms. Die Bildaufnahme ist so mit einer kürzeren Messzeit und einem geringeren technischen Aufwand verbunden. Das Ziel der Auswertung ist die Ermittlung einfacher Oberflächenparameter wie Neigung oder Höhe - nicht die vollständige Rekonstruktion der Oberflächentopologie. Damit kann auf die ansonsten meist notwendige, rechenaufwendige und fehleranfällige Phasenentfaltung verzichtet werden. Die entwickelten Algorithmen basieren auf der Riesztransformation. Diese stellt in der Bildverarbeitung eine neue und vielfach noch unbekannte Methode zur Extraktion lokaler Eigenschaften aus Streifenbildern dar, die sich besonders durch ihre Isotropie-Eigenschaft auszeichnet. Als praxisrelevante Anwendungen werden die Bestimmung der Neigung, der Verkippung und der absoluten Höhe von ebenen Flächen vorgestellt, sowie die Vermessung von Objektstufen. Die letzten beiden Anwendungen werden durch die Verwendung von Weißlicht ermöglicht und sind in der klassischen Einzelbildauswertung nicht realisierbar.